Invention Grant
- Patent Title: 收卷式成膜装置和收卷式成膜方法
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Application No.: CN201980005724.6Application Date: 2019-05-16
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Publication No.: CN111344431BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 坂本纯一 , 斋藤一也 , 清田淳也 , 武井应树 , 横山礼宽
- Applicant: 株式会社爱发科
- Applicant Address: 日本神奈川县
- Assignee: 株式会社爱发科
- Current Assignee: 株式会社爱发科
- Current Assignee Address: 日本神奈川县
- Agency: 北京柏杉松知识产权代理事务所
- Agent 袁波; 刘继富
- Priority: 2018-104675 20180531 JP
- International Application: PCT/JP2019/019504 2019.05.16
- International Announcement: WO2019/230421 JA 2019.12.05
- Date entered country: 2020-05-14
- Main IPC: C23C14/04
- IPC: C23C14/04 ; B41F5/04 ; B41F9/00 ; B41F17/10 ; B41M1/02 ; B41M1/10 ; B41M1/28 ; B41M1/30 ; B65H20/00 ; C23C14/02 ; C23C14/14 ; C23C14/24 ; C23C14/56
Abstract:
本发明提供一种收卷式成膜装置，其具有真空容器、膜行进机构、锂源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内使锂蒸发。上述第一辊被配置在上述膜的成膜面和上述锂源之间。上述第一辊具有接收从上述锂源蒸发的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。
Public/Granted literature
- CN111344431A 收卷式成膜装置和收卷式成膜方法 Public/Granted day:2020-06-26
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IPC分类:
