传感器、检测方法及传感器制造方法
Abstract:
传感器1具备:主体部132,所述主体部132为平板状,且第1方向上的第1端1321被支撑,并且具有在厚度方向上的两端面中的至少一面开口的收容空间;体积变化体14,所述体积变化体14的体积根据对象的量而发生变化,并且以至少一部分收容于收容空间的方式被主体部132支撑;以及检测部133,所述检测部133与主体部132中的第1方向上的第2端1322连接,且检测伴随体积变化体14的体积变化而产生的应力。
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