本申请公开了石英管组件及其真空检验方法，该方法包括获得初次真空封接后待检验的石英管组件，石英管组件具有第一真空度，其中，石英管组件包括石英管、位于石英管底部的汞、位于石英管中部的晶片、位于石英管顶部内的石英套管；对石英管组件进行抽真空，得到再次抽真空后的石英管组件的第二真空度；比较第二真空度与第一真空度的大小；若第二真空度不大于第一真空度，则所述石英管组件检验合格。本申请中在得到待检验石英管组件后，对石英管组件进行抽真空处理，得到第二真空度，利用汞挥发对真空的影响来判断石英管与石英套管封接是否严密，当第二真空度不大于第一真空度时，表明石英套管与石英管之间没有缝隙，处于高真空状态，检验合格。