一种用于激光精密加工的装置及其方法
Abstract:
本发明公开了一种用于激光精密加工的装置,包括光电传感器阵列架,光电传感器阵列架的中心处设有激光头,激光头的正下方设有加工平台,加工平台上设有加工工件,激光头经激光出光口发射的激光束垂直照射至加工工件上,所述激光束对加工工件进行烧蚀产生等离子体辐射光信号;加工平台的下方设有三自由度平移台。本发明还公开了一种用于激光精密加工的装置的加工方法,本发明解决了目前行业内无法自动精准地跟随激光焦点位置的问题。
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