一种基于超构材料的微纳折射率传感器
Abstract:
本发明公开了一种基于超构材料的微纳折射率传感器,涉及折射率传感技术领域。包括等间距阵列设置的传感器单元,所述传感器单元包括由上至下依次设置的第一金属层、第一布拉格反射镜、介质层、第二布拉格反射镜和第二金属层,所述第一布拉格反射镜和第二布拉格反射镜均包括GaAs层和AlGaAs层,所述GaAs层和AlGaAs层周期交替排列,所述传感器单元设置通孔,所述通孔为正方形。本发明的微纳折射率传感器不仅灵敏度较高,而且尺寸小,构造简单,更易于实现传感器的小型化和集成化,扩大了折射率传感器的应用范围。
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