Invention Grant
- Patent Title: 一种光刻胶胶嘴装置
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Application No.: CN202210780439.5Application Date: 2022-07-05
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Publication No.: CN114849990BPublication Date: 2022-09-23
- Inventor: 查方发 , 袁宁丰 , 李朋 , 陈理
- Applicant: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
- Applicant Address: 浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
- Assignee: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
- Current Assignee: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
- Current Assignee Address: 浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
- Agency: 浙江中桓凯通专利代理有限公司
- Agent 谢英
- Main IPC: B05C5/02
- IPC: B05C5/02 ; B05C11/00 ; B05C11/10 ; B08B3/02
Abstract:
本发明公开了一种光刻胶胶嘴装置，包括：保温盒，所述保温盒包括保温盒壳体，所述保温盒壳体内具有保温腔；至少一个喷嘴，安装于所述保温盒；输送管，所述输送管连通所述喷嘴，并穿过所述保温腔；点胶组件，所述点胶组件设于所述保温盒的一侧；保湿盒，所述保湿盒包括第一保湿槽和第二保湿槽，所述喷嘴伸入所述第一保湿槽，所述点胶组件伸入所述第二保湿槽。本发明解决了检测光刻胶工艺性质的装置与喷嘴由同一主管路供胶，导致主管路容易污染的问题。
Public/Granted literature
- CN114849990A 一种光刻胶胶嘴装置 Public/Granted day:2022-08-05
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