本申请涉及光伏技术领域，涉及一种太阳能电池及其制备方法以及激光退火装置。制备方法，包括：对背极印刷后的硅片进行第一次局部加热；进行背场印刷，并进行第二次局部加热；进行正电极印刷，并进行第三次局部加热；第一次局部加热、第二次局部加热和第三次局部加热均是采用激光仅照射栅线进行加热。第一次局部加热、第二次局部加热、第三次局部加热采用激光仅照射栅线进行加热，而不是对整块硅片进行加热，不仅能够形成良好的欧姆接触，而且不会对非晶硅膜层造成破坏。由于可以高温实现良好的欧姆接触，因而采用本申请方案能够降低银浆含量，降低太阳能电池生产成本。而且对于银铜浆料、电镀铜技术，可以达到降低接触电阻，提高电池效率的效果。