本发明公开了一种基于微环谐振器的露点检测传感器、检测系统及方法，露点检测传感器包括半导体制冷器和置于其上的微环谐振器传感芯片，所述微环谐振器传感芯片包括硅基底和位于硅基底上的二氧化硅层，所述二氧化硅层内埋有波导层，所述波导层包括光栅耦合器和微环谐振器，光纤中的光经光栅耦合器耦合进微环谐振器，再从光栅耦合器输出；所述微环谐振器上方区域的二氧化硅层厚度小于其他区域的二氧化硅层厚度。本发明利用一个微环谐振器对露点进行检测，微环谐振器既作为检测水珠凝结的传感器，也作为记录温度的传感器，实现对凝水温度的快速精确测量。