一种缺陷检测系统及缺陷检测方法
Abstract:
本发明公开了一种缺陷检测系统及缺陷检测方法,包括光线输出模块、光线调节模块、探测模块和处理控制模块;光线输出模块用于输出探测光束;光线调节模块位于探测光束的传输路径上,用于调节探测光束入射至待探测物,待探测物反射探测光束形成成像光束,成像光束携带探测物的缺陷信息;探测模块位于成像光束的传播路径上,形成探测图像;处理控制模块与探测模块连接,用于根据探测图像确定待探测物的缺陷信息;处理控制模块还与光线调节模块连接,用于根据探测需求选择照明模式,照明模式包括明场照明模式、暗场照明模式以及明场暗场混合照明模式。处理控制模块通过对光线调节模块的调节,实现探测光束完成不同的照明模式,满足更多样化的需求。
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