Invention Publication
- Patent Title: 一种用于液体的真空蒸发源结构
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Application No.: CN202211521728.XApplication Date: 2022-11-30
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Publication No.: CN115852312APublication Date: 2023-03-28
- Inventor: 董茂进 , 冯煜东 , 王小军 , 秦丽丽 , 王冠 , 冯尔鹏 , 蔡宇宏 , 韩仙虎 , 王毅 , 马凤英
- Applicant: 兰州空间技术物理研究所
- Applicant Address: 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee Address: 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- Agency: 北京理工大学专利中心
- Agent 张丽娜
- Main IPC: C23C14/12
- IPC: C23C14/12 ; C23C14/24
Abstract:
本发明涉及一种真空蒸发源结构，具体涉及一种用于液体的真空蒸发源结构。本发明公开了一种用于液体的真空蒸发源结构。对于饱和蒸汽压较低(小于10Pa)的液态单体，粘度1‑30CPS(25℃)。蒸发源设计有以下特点：1、能够连续供给，液体管和连续液体流量计设计；2、流量控制准确，液体流量计前后压强稳定；3、不会由于气泡等干扰恒定蒸发，雾化器前端具有除泡机构。
Public/Granted literature
- CN115852312B 一种用于液体的真空蒸发源结构 Public/Granted day:2025-04-25
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IPC分类:
