一种高温温度和压力原位复合测量传感器、制备及使用方法
Abstract:
本发明属于测试领域,提出一种高温温度和压力原位复合测量传感器、制备及使用方法,包括敏感元件、陶瓷基座和耐高温引线;敏感元件为设有高温电极的弹性膜片,其包括五个铂金属电极和四个氧化铟锡压敏电阻。四个阻值相等的氧化铟锡压敏电阻连成惠斯登电桥。该传感器集成亚微米厚度的铂薄膜热敏电阻和氧化铟锡压敏电阻,实现原位同时测量温度‑压力参量。传感元件采用倒装齐平式封装,敏感的弹性膜片直接感受介质温度压力,避免引进气道管腔效应的影响。该测试方法无引压进气道,固有频率约等于敏感元件的固有频率,可实现高频动态测量。
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