引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置
Abstract:
提高可动部行进精度、实现轻量化的引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置。引导装置具备基台、配置于基台上的第一、第二引导构件、沿着第一、第二引导构件移动的可动部、将可动部支承为能够移动的空气轴承部,可动部具备可动体、从可动体向下方延伸且将第一引导构件在该第一引导构件的宽度方向上夹着的第一、第二轴承支承构件,空气轴承部包括将可动部在宽度方向上支承于第一引导构件且配置于第一、第二轴承支承构件的第一、第二宽度方向空气轴承部、以及将可动部在上下方向上支承于第一引导构件且配置于可动体的第一上浮空气轴承部,可动体形成为包含第一、第二轴承支承构件及第一上浮空气轴承部的配置位置在内的厚壁部的厚度比其他部位厚。
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