本发明公开了一种硅料生产用除粉除氢系统及方法，包括水洗分料装置、预热装置、加热装置、冷却装置和防氧化装置，水洗分料装置与预热装置的输入端相连，预热装置的输出端低于预热装置的输入端且与加热装置的输入端相连，加热装置的输出端低于加热装置的输入端且与冷却装置的输入端相连，冷却装置的输出端低于冷却装置的输入端且与防氧化装置相连。硅料中的细粉通过清洗烘干及除氢处理，整个生产过程中，可以有效避免硅料之间的碰撞，防止再次产生细粉或微粉，可以有效避免硅料中细粉或微粉对空气造成污染，同时也防止硅料被氧化。