一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法
Abstract:
本发明公开了一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法,属于氟树脂薄膜覆框技术领域。该方法通过利用旋涂的方式,将氟树脂溶液制备得到厚度仅为0.5‑5μm的薄膜,且氟树脂薄膜的透光率可达95%以上。利用液体的张力将薄膜舒展开,然后利用气流装置进行分离使张紧框与薄膜贴合,不仅无需人工或是机器接触到薄膜,而且还分离高效,避免了薄膜破损或撕裂。同时镀了抗静电层,避免了由于薄膜静电吸附造成不易成型的问题。制备得到的无定型氟树脂薄膜可以作为光掩膜板防尘膜使用。
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