Invention Grant
- Patent Title: 一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法
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Application No.: CN202310874962.9Application Date: 2023-07-17
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Publication No.: CN116833061BPublication Date: 2025-04-25
- Inventor: 龙钟江
- Applicant: 龙钟江
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区宝民二路宝兴花园1栋306
- Assignee: 龙钟江
- Current Assignee: 龙钟江
- Current Assignee Address: 广东省深圳市宝安区宝民二路宝兴花园1栋306
- Agency: 成都顶峰专利事务所
- Agent 张凯
- Main IPC: B05D1/00
- IPC: B05D1/00 ; B05D3/06 ; B05D5/06 ; B05D3/02 ; B05D3/00

Abstract:
本发明公开了一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法,属于氟树脂薄膜覆框技术领域。该方法通过利用旋涂的方式,将氟树脂溶液制备得到厚度仅为0.5‑5μm的薄膜,且氟树脂薄膜的透光率可达95%以上。利用液体的张力将薄膜舒展开,然后利用气流装置进行分离使张紧框与薄膜贴合,不仅无需人工或是机器接触到薄膜,而且还分离高效,避免了薄膜破损或撕裂。同时镀了抗静电层,避免了由于薄膜静电吸附造成不易成型的问题。制备得到的无定型氟树脂薄膜可以作为光掩膜板防尘膜使用。
Public/Granted literature
- CN116833061A 一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法 Public/Granted day:2023-10-03
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