Invention Publication
- Patent Title: 一种基于三音叉TPoS谐振器的双轴加速度传感器
-
Application No.: CN202310867348.XApplication Date: 2023-07-14
-
Publication No.: CN116893280APublication Date: 2023-10-17
- Inventor: 涂程 , 周威豪 , 李磊 , 张晓升
- Applicant: 电子科技大学
- Applicant Address: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- Assignee: 电子科技大学
- Current Assignee: 电子科技大学
- Current Assignee Address: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- Agency: 电子科技大学专利中心
- Agent 张冉
- Main IPC: G01P15/09
- IPC: G01P15/09

Abstract:
本发明公开了一种基于三音叉TPoS谐振器的双轴加速度传感器,属于微机电技术领域。本发明所述加速度传感器由质量块、解耦梁、三级微杠杆、三音叉TPoS谐振器和SOI基底构成,其中三级微杠杆的设计方案使得器件占用面积大幅减小,结构变得更加紧凑。本发明的工作原理是质量块在加速度的影响下产生惯性力,在通过解耦梁解耦和三级微杠杆放大后作用于三音叉TPoS谐振器,使其谐振频率发生偏移,并通过外部电路检测谐振频率变化量实现加速度测量的目的。
Information query
IPC分类: