一种基于三音叉TPoS谐振器的双轴加速度传感器
Abstract:
本发明公开了一种基于三音叉TPoS谐振器的双轴加速度传感器,属于微机电技术领域。本发明所述加速度传感器由质量块、解耦梁、三级微杠杆、三音叉TPoS谐振器和SOI基底构成,其中三级微杠杆的设计方案使得器件占用面积大幅减小,结构变得更加紧凑。本发明的工作原理是质量块在加速度的影响下产生惯性力,在通过解耦梁解耦和三级微杠杆放大后作用于三音叉TPoS谐振器,使其谐振频率发生偏移,并通过外部电路检测谐振频率变化量实现加速度测量的目的。
Patent Agency Ranking
0/0