一种基于薄膜振动理论的矢量加速度传感器基座设计方法
Abstract:
本发明涉及一种基于薄膜振动理论的矢量加速度传感器基座设计方法,属于水声传感领域。解决通常将压电薄膜材料粘贴于金属基座表面形成敏感结构研制的矢量加速度传感器的质量较大,体积较大,应力匹配存在失调问题。包括以下步骤:步骤一:建立坐标系;步骤二:建立振动方程;步骤三:对振动方程求解。本发明适用于薄膜敏感元件(如PVDF压电薄膜);薄膜基座与薄膜敏感元件具有良好的应力匹配关系,能够有效地将微弱的矢量加速度信号转变为薄膜的应形,从而获得更高的灵敏度;本发明不仅可以使矢量加速度传感器获得较小的尺度和较轻的重量,而且可以通过调整对薄膜基座施加的预应力来调整传感器的工作频率、并获得更高的灵敏度。
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