一种固态电解质气体传感器及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种固态电解质气体传感器及其制备方法,该传感器包括固态电解质基底、两侧的加热电极层和工作电极层,以及覆盖在电极层上的多孔保护层。工作电极层进一步包含通过物理气相沉积改性的多孔电极改性层。本发明还公开了制备该传感器的方法,该制备方法涉及丝网印刷电极图案、烘干、高温烧结,并通过磁控溅射法沉积金属薄膜形成多孔结构。该气体传感器结构简洁,制备过程成本效益高,能有效提升电极性能和传感器稳定性,特别适用于高精度环境监测和尾气排放检测。
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