一种气吸定位载台及多旋转载台移送装置
Abstract:
本发明提供了一种气吸定位载台及多旋转载台移送装置,属于精密传输领域,气吸定位载台包括载台固定体、吸嘴固定顶板、吸嘴组件、长边固定柱组件、长边定位柱组件、短边固定柱组件、短边定位柱组件和调平气路板组;定位柱组件相对于固定柱组件驱控的相对运动,用于待载物料的定位;旋转驱动马达可对上方整体进行旋转驱动,在载台固定体上表面嵌设一个背光源;多旋转载台移送装置包括移送底板、直线移送模块和设置在所述直线移送模块运动端的多个旋转载台;本申请可对待移送的物料进行快速定位、旋转及支线往复移送,提高了整体的精度、产能,可在3C、半导体、光伏等涉及零部件高精大批量传输领域推广应用。
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