本发明公开了一种物料消杀装置，包括物料仓、等离子发生组件、消杀辅助组件，物料仓用于存储目标物料，目标物料为待消杀的物料；等离子发生组件用于产生目标低温等离子体，等离子发生组件与物料仓连通；消杀辅助组件设置在等离子发生组件一侧，消杀辅助组件与等离子发生组件连通，消杀辅助组件用于辅助等离子发生组件为物料仓提供循环目标气体，其中，循环目标气体包括击穿气体或循环目标气体包括余量低温等离子体和击穿气体的混合气体，余量低温等离子体为目标低温等离子体中的一部分。本技术方案可以通过消杀辅助组件为等离子发生组件循环提供击穿气体，实现了物料的循环消杀，提高了物料消杀精度。