用于体声波滤波器的空腔结构、体声波滤波器及电子器件
Abstract:
本申请提供了一种用于体声波滤波器的空腔结构、一种体声波滤波器、以及一种电子器件,该空腔结构包括压电层组、高分子薄膜隔离层和衬底;其中,所述高分子薄膜隔离层键合于所述压电层组和所述衬底之间,其上设有通孔,在所述通孔处,所述高分子薄膜隔离层与所述压电层组和所述衬底共同围绕形成谐振空腔。本申请方案摒弃了现有技术中基于POLY/SIN等无机物形成谐振空腔的传统方案,而是采用高分子薄膜隔离层通过键合的方式来形成谐振空腔,可有效提高产品品质和良率,并能够降低生产成本。
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