Invention Publication
CN118730381A 差压计
审中-实审
- Patent Title: 差压计
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Application No.: CN202410219334.1Application Date: 2024-02-28
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Publication No.: CN118730381APublication Date: 2024-10-01
- Inventor: 东条博史
- Applicant: 阿自倍尔株式会社
- Applicant Address: 日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号
- Assignee: 阿自倍尔株式会社
- Current Assignee: 阿自倍尔株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号
- Agency: 上海华诚知识产权代理有限公司
- Agent 肖华
- Priority: 2023-050950 20230328 JP
- Main IPC: G01L13/02
- IPC: G01L13/02
Abstract:
[课题]抑制组装在俯视呈长方形的传感器芯片中的差压计的输出的漂移。[解决手段]一种差压计，其在第一区域(141)中设置未接合区域(112)，在玻璃板(102)的第一接合区域(111)和第二区域(142)之间的第一区域(141)中设置槽，将第一接合区域(111)形成为在第一区域(141)中的第一半导体层(103)和玻璃板(102)之间，包围第一压力室(105)，并设为在俯视时在第一压力室(105)的周向上一致的宽度。
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