本发明公开了一种用于消除丝杠两维误差的微动装置，包括流体润滑导轨滑块、丝杠、微动组件、丝母、丝母连接岛和滑板连接座。本发明通过设置有微动组件作为中间连接件连接在丝杠与流体润滑导轨滑块之间，丝杠传递给丝母的力就会传递到微动组件，通过微动组件可有效解决丝杠不适用于流体润滑导轨的问题，降低了超精密设备的制造门槛，有效控制了成本；微动组件通过将丝杠传递给丝母座的力传递到丝母连接岛上，柔性单元的变形可通过释放槽进行补偿，使传递到丝母座上的力很小，同时丝母座的刚性也较好，这样丝杠最终传递到介质上的力即可完全被介质刚度所克服，解决丝杠和导轨运行轴线不平行的问题。