一种用于电池片无损激光划片机的定位机构
Abstract:
本发明公开了一种用于电池片无损激光划片机的定位机构,涉及划片机技术领域,包括工作台,同轴固接于工作台顶部的凸台,凸台内部开设有连通腔,凸台的顶面开设有多个与连通腔相贯通的吸附孔;连接于工作台上的滑动座,滑动座在工作台上沿工作台的径向自由滑动,滑动座上表面固接有夹持块;设于工作台上的负压吸附机构;设于工作台上的平移驱动机构,平移驱动机构用于驱动多个滑动座运动。本发明通过负压吸附机构对晶圆进行负压吸附,再通过平移驱动机构对晶圆的边缘进行夹持,使得晶圆能够自动定心,进而将晶圆定位在凸台上,减少光学相机或CT对晶圆加工位置进行定位过程中所耗费时间,同时减少了晶圆定位偏差,提高晶圆的加工效率。
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