一种TOPCon电池正面poly钝化层清洗设备
Abstract:
本发明公开了一种TOPCon电池正面poly钝化层清洗设备,涉及太阳能光伏电池片生产技术领域,旨在优化侵蚀清洗产生相对不均的技术问题,包括操作机台;所述操作机台内部设置有丝杆位移组件;所述丝杆位移组件边侧相对远离所述操作机台一侧设置有激光烧结组件;所述丝杆位移组件边侧相对位于所述操作机台内部设置雾化喷淋组件。本发明基于双模组件往复左右摆动操作配合雾化喷淋组件两侧间隙喷淋工作,致使化学清洗试剂沿着制绒产生锯齿状边缘流动脱落,产生停留时间短效果,通过多次重复上述操作,实现相对均匀的清洗的情况,有效降低因N型单晶硅衬底行制绒产生锯齿状边缘造成后期制备的层级与化学试剂接触深度不同造成清洗厚度的情况。
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