本发明涉及等离子体技术领域，公开了一种级联式等离子体发生器，其包括阴极组件、阴极座、级联组件和阳极，阴极组件包括引弧针、电子发射针和弹性连接件，引弧针通过弹性连接件与电子发射针弹性连接并滑动穿设于滑动通道中；压缩弹性连接件，使得引弧针的底端突出于电子发射针的底端，起弧时，通过引弧针的尖端放电实现工作气体的电离以产生等离子体；释放弹性压缩件使得电子发射针的底端突出于引弧针的底端，由电子发射针发射电子，进而避免引弧针一直处在气体发生电离的腔室中，继而使得所述引弧针的针尖不会发生大量杂质堆积和针尖熔化的问题，从而减少引弧针的更换频率，减少装置维护成本并保障实验的正常进行。