半导体器件以及晶体管
Abstract:
本申请提供了一种半导体器件以及晶体管。该半导体器件包括:衬底;外延层,位于衬底的表面上;第一注入区,位于外延层中,第一注入区的远离衬底的表面与外延层的远离衬底的部分表面重叠;斜角沟道区,位于第一注入区中,斜角沟道区的导电类型与第一注入区的导电类型不同,斜角沟道区的远离衬底的表面与第一注入区的远离衬底的表面之间的夹角不为0°;栅极结构,位于外延层的远离衬底的部分表面上,斜角沟道区在衬底的正投影位于栅极结构在衬底的正投影中。本申请至少解决现有技术中半导体器件的沟道迁移率较低的问题。
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