本发明公开了一种低温等离子体射流装置，包括：等离子体发生器、等离子电源以及高压导线；所述等离子发生器中包括多组高压电极以及多个等离子体发生腔，所述高压电极的一端内置于所述等离子发生腔中，所述等离子体发生腔用于接收工作气体并在所述等离子电源通电情况下所述高压电极产生等离子体，其中每组高压电极产生相互独立的等离子体束，所述等离子体从所述等离子体发生器中的等离子体出口流出。通过本发明公开的低温等离子体射流装置，通过独立的等离子发生腔产生独立的等离子体束，能够实现等离子束的物理隔离，且等离子体可与皮肤直接接触而不需要在被处理皮肤上外接额外接地体。