Invention Grant
- Patent Title: Group 6 transition metal-containing compositions for vapor deposition of group 6 transition metal-containing films
-
Application No.: US15994961Application Date: 2018-05-31
-
Publication No.: US11021793B2Publication Date: 2021-06-01
- Inventor: Rocio Arteaga , Raphael Rochat , Antonio Sanchez , Jean-Marc Girard , Nicolas Blasco , Santiago Marques-Gonzalez , Clément Lansalot-Matras , Jooho Lee , Zhiwen Wan
- Applicant: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Applicant Address: FR Paris
- Assignee: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Current Assignee: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Current Assignee Address: FR Paris
- Agent Allen E. White; Patricia E. McQueeney
- Main IPC: C23C16/455
- IPC: C23C16/455 ; C07F11/00
Abstract:
Disclosed are Group 6 transition metal-containing thin film forming precursors to deposit Group 6 transition metal-containing films on one or more substrates via vapor deposition processes.
Public/Granted literature
- US3114255A Thermal conductivity apparatus Public/Granted day:1963-12-17
Information query
IPC分类:
