Polymeric material, containing a latent acid

Invention Grant

US07655380B2 Polymeric material, containing a latent acid 失效

Title translation: 含有潜在酸的聚合材料

Abstract:

Polymeric material, containing a latent acid which can be converted to an acid by irradiation by a laser and optionally further ingredients.

Abstract(Chinese):

含有潜在酸的聚合材料，其可以通过激光照射和任选的其它成分转化为酸。

Public/Granted literature

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Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）