Bottom antireflective coating compositions

Invention Grant

US08088548B2 Bottom antireflective coating compositions 有权

Title translation: 底部防反射涂料组合物

Patent Title: Bottom antireflective coating compositions
Patent Title (中): 底部防反射涂料组合物
Application No.: US11876793

Application Date: 2007-10-23
Publication No.: US08088548B2

Publication Date: 2012-01-03
Inventor: Francis M. Houlihan , Shinji Miyazaki , Mark O. Neisser , Alberto D. Dioses , Joseph E. Oberlander
Applicant: Francis M. Houlihan , Shinji Miyazaki , Mark O. Neisser , Alberto D. Dioses , Joseph E. Oberlander
Applicant Address: US NJ Somerville
Assignee: AZ Electronic Materials USA Corp.
Current Assignee: AZ Electronic Materials USA Corp.
Current Assignee Address: US NJ Somerville
Agent Alan P. Kass; Sangya Jain
Main IPC: G03F7/11
IPC: G03F7/11 ; G03F7/039

Abstract:

Developable bottom antireflective coating compositions are provided.

Abstract(Chinese):

提供可开发的底部抗反射涂料组合物。

Public/Granted literature

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Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）
G03F7/09	..以细部结构为特征的，例如，基片层、辅助层（印刷版的基片层一般入B41N）
G03F7/11	...具有覆盖层或中间层的，例如，（使感光乳剂固着于片基的）胶层