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Invention Grant
US08614446B2 Semiconductor device and method of producing same 有权
半导体装置及其制造方法

Semiconductor device and method of producing same
Abstract:
A semiconductor device includes a semiconductor layer (1) containing GaN and an electrode. The electrode includes an electrode main body (6), a connection-use electrode (8) containing Al and formed at a position farther from the semiconductor layer (1) than the electrode main body (6), and a barrier layer (7) formed between the electrode main body (6) and the connection-use electrode (8), the barrier layer (7) containing at least one selected from the group consisting of W, TiW, WN, TiN, Ta, and TaN. A surface roughness RMS of the barrier layer (7) is 3.0 nm or less.
Abstract(Chinese):

半导体器件包括含有GaN和电极的半导体层（1）。 所述电极包括电极主体（6），包含Al并形成在比所述电极主体（6）更远离所述半导体层（1）的位置处的连接用电极（8）和阻挡层（7） 形成在电极主体（6）和连接用电极（8）之间，阻挡层（7）含有选自W，TiW，WN，TiN，Ta和TaN中的至少一种。 阻挡层（7）的表面粗糙度RMS为3.0nm以下。

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IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换，并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒，例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器；半导体本体或其电极的零部件（H01L31/00至H01L47/00，H01L51/05优先；除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00；由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00）
H01L29/02 .按其半导体本体的特征区分的
H01L29/12 ..按其构成材料的特征区分的
H01L29/15 ... · ·带有周期性或准周期性电势变化的结构，如多量子阱、超晶格（应用于光控制的这种结构入G02F1/017；应用于半导体激光器的入H01S5/34）
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