在包括调节光束的光圈构件的光源装置中，|（Pap1-Pap2）/ Pap2 | <|（P1-P2）/ P2 | 满足P2是当电流施加到激光器时经过2微秒的t2时刻进入光圈部件的光束的光强度，P1是在时间t1进入光圈部件的光束的光强度 当进入孔径构件的光束的光强度达到光强度P2的0.1倍时，当经过40纳秒时，Pap2是在时间t2从孔径构件输出的光束的光强度，Pap1是光强度 在从光圈构件输出的光束的光强度达到光强度Pap2的0.1倍时，从40nm开始的时间t1'从光圈构件输出的光束。