本公开提供了用于通过因子n（其中n <1）减小临界尺寸（CD）的光刻工艺的方法的一个实施例。 该方法包括提供具有第一像素区域S1以产生具有等于n2 * S1的第二像素区域S2的数据网格的图案生成器，其中图案生成器包括具有多个栅格段的多段结构，其中栅格 段包括第一组网格段和第二组网格段，第一组网格段中的每一个被配置为在第一方向上具有偏移; 以及在所述光刻处理期间沿垂直于所述第一方向的第二方向扫描所述图案发生器，使得所述第二组栅格段中的每一个被控制为具有时间延迟。