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WO2005103668A1 VERFAHREN ZUR MESSUNG VON GASEN UND/ ODER MINIMIERUNG VON QUEREMPFINDLICHKEITEN BEI FET-BASIERTEN GASSENSOREN
审中-公开
法测量气体和/或尽量减少交叉灵敏度使其FET系气体传感器
- Patent Title: VERFAHREN ZUR MESSUNG VON GASEN UND/ ODER MINIMIERUNG VON QUEREMPFINDLICHKEITEN BEI FET-BASIERTEN GASSENSOREN
- Patent Title (English): Method for measuring gases and/or minimizing cross sensitivity in fet-based gas sensors
- Patent Title (中): 法测量气体和/或尽量减少交叉灵敏度使其FET系气体传感器
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Application No.: PCT/EP2005/004318Application Date: 2005-04-22
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Publication No.: WO2005103668A1Publication Date: 2005-11-03
- Inventor: FLEISCHER, Maximillian , LAMPE, Uwe , MEIXNER, Hans , POHLE, Roland , SIMON, Elfriede
- Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , FLEISCHER, Maximillian , LAMPE, Uwe , MEIXNER, Hans , POHLE, Roland , SIMON, Elfriede
- Applicant Address: Wittelsbacherplatz 2, 80333 Munich DE
- Assignee: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT,FLEISCHER, Maximillian,LAMPE, Uwe,MEIXNER, Hans,POHLE, Roland,SIMON, Elfriede
- Current Assignee: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT,FLEISCHER, Maximillian,LAMPE, Uwe,MEIXNER, Hans,POHLE, Roland,SIMON, Elfriede
- Current Assignee Address: Wittelsbacherplatz 2, 80333 Munich DE
- Agency: WESTPHAL, MUSSGNUG & PARTNER
- Priority: DE10 20040422
- Main IPC: G01N27/414
- IPC: G01N27/414
Abstract:
Verfahren zur Messung von Gasen bei FET-basierten Gassensoren, deren Sensorsignal durch die Änderung der Austrittsarbeit an einer sensitiven Schicht generiert wird, wobei zusätzlich zur Auslesung der Änderung der Austrittsarbeit die Änderung der Kapazität der sensitiven Schicht ausgewertet wird.
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