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WO2005103680A2 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ERHÖHUNG DER SELEKTIVITÄT VON FET-BASIERTEN GASSENSOREN
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方法和设备用于增加气体传感器基于FET的选择性
- Patent Title: VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ERHÖHUNG DER SELEKTIVITÄT VON FET-BASIERTEN GASSENSOREN
- Patent Title (English): Method and device for increasing the selectivity of fet-based gas sensors
- Patent Title (中): 方法和设备用于增加气体传感器基于FET的选择性
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Application No.: PCT/EP2005/004281Application Date: 2005-04-21
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Publication No.: WO2005103680A2Publication Date: 2005-11-03
- Inventor: FLEISCHER, Maximilian , LAMPE, Uwe , MEIXNER, Hans , POHLE, Roland , SCHNEIDER, Ralf , SIMON, Elfriede
- Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , FLEISCHER, Maximilian , LAMPE, Uwe , MEIXNER, Hans , POHLE, Roland , SCHNEIDER, Ralf , SIMON, Elfriede
- Applicant Address: Wittelsbacherplatz 2, 80333 München DE
- Assignee: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT,FLEISCHER, Maximilian,LAMPE, Uwe,MEIXNER, Hans,POHLE, Roland,SCHNEIDER, Ralf,SIMON, Elfriede
- Current Assignee: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT,FLEISCHER, Maximilian,LAMPE, Uwe,MEIXNER, Hans,POHLE, Roland,SCHNEIDER, Ralf,SIMON, Elfriede
- Current Assignee Address: Wittelsbacherplatz 2, 80333 München DE
- Agency: WESTPHAL, MUSSGNUG & PARTNER
- Priority: DE10 20040422
- Main IPC: G01N33/00
- IPC: G01N33/00
Abstract:
Verfahren zur Erhöhung der Selektivität eines FET basierten Gassensors, bei dem zwischen dem zu detektierenden Gasgemisch und dem Gassensor mindestens ein zielgasdurchlässige Filter mit großer aktiver Oberfläche vorhanden ist, der durch gewebeförmige Aktivkohle dargestellt wird und der zur Filterregeneration zeitweise auf eine Temperatur aufgeheizt wird, bei der adsorbierte Gase ausgetrieben werden, bzw. bei dem Filter zur Erhöhung der Lebensdauer mit einer durch Begrenzung der Gasdiffusion verringerten Analysegasmenge belastet werden.
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