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公开(公告)号：CN114839170B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202210302753.2
申请日：2022-03-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石NV色心的定点加工与检测系统及其加工和检测方法，属于激光微纳加工技术领域，该系统包括位置控制与光学检测平台、计算机控制模块及时序可控微波产生模块；本发明将NV色心加工与检测系统相结合，复用了部分硬件设备，减少了系统体积，通过时序可控微波产生模块实现高效、高精度的检测金刚石NV色心位置精度、产率以及在金刚石内部的晶向取向。本发明提出的检测方法，有效解决荧光扫描方向与加工方向存在夹角的问题，实现实际加工坐标与经校正的理想加工坐标偏差快速计算分析。本发明提出的金刚石NV色心检测方法，有效解决荧光扫描方向与加工方向存在夹角的问题，实现实际加工坐标与经校正的理想加工坐标偏差快速计算分析。
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公开(公告)号：CN112578498B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202011578113.1
申请日：2020-12-28
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光焦点阵列直写圆形波导并实现稳定耦合的方法，属于激光加工技术领域，解决了飞秒激光在透明介质内直写时的散焦问题，与传统光束整形技术相比，实现了任意长度、方向圆形端面波导的制备。一束飞秒激光经过扩束系统后被空间光调制器SLM调制成特殊设计的多焦点阵列，通过细调二分之一波片HWP光轴来控制直写功率，从而制备出圆形端面波导。同时通过O‑XZ和0‑XY平面内多焦点阵列直写圆形波导定向耦合器的表征，证明了多焦点阵列直写波导耦合能力在竖直Z和水平Y方向保持一致，实现了不同耦合方向的稳定耦合，有利于推动三维耦合波导器件的制备与三维光子芯片的发展。
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公开(公告)号：CN112548323B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202011448109.3
申请日：2020-12-09
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光直写波导耦合区提高耦合效率的方法，属于激光加工技术领域，本发明通过飞秒激光的精细加工能力，在直写加工了玻璃基波导后，可以对波导耦合区采用不同扫描功率实现波导间耦合效率可控和提升，且不影响波导的传输损耗，模式等基本特性，从根本上解决了不同波导间距之间耦合效率低且固定的问题。通过利用飞秒激光直写波导耦合区的类三明治结构的方案，解决了固定波导间距间的耦合效率的可控及再提高的实际问题。通过提高耦合效率，缩短了耦合长度，可以助力于片上器件的小型化，使单位面积中集成更多功能器件。
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公开(公告)号：CN112548323A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011448109.3
申请日：2020-12-09
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光直写波导耦合区提高耦合效率的方法，属于激光加工技术领域，本发明通过飞秒激光的精细加工能力，在直写加工了玻璃基波导后，可以对波导耦合区采用不同扫描功率实现波导间耦合效率可控和提升，且不影响波导的传输损耗，模式等基本特性，从根本上解决了不同波导间距之间耦合效率低且固定的问题。通过利用飞秒激光直写波导耦合区的类三明治结构的方案，解决了固定波导间距间的耦合效率的可控及再提高的实际问题。通过提高耦合效率，缩短了耦合长度，可以助力于片上器件的小型化，使单位面积中集成更多功能器件。
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公开(公告)号：CN109623155B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201811349599.4
申请日：2018-11-14
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/0622 , B23K26/067 , B23K26/064 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种利用多光子激发进行近4π立体角飞秒激光直写加工的方法及应用，属于激光加工技术领域，本发明采用多光子激发替代传统的单光子激发来解决利用飞秒激光进行大埋入深度直写时的失焦问题，其主要原理是将飞秒激光分束后再聚焦于待加工材料内部，将多个光子的能量“凑足”原单光子激发的对应的能量阈值，从而达到对材料改性的加工目的。同时，调节分束后的子束激光时域同步，并使其最终近正交会聚于待加工位置，从而获得具有近4π立体角的近球型焦斑。如此，利用多光子激光解决了飞秒激光大埋入深度直写时的失焦问题，可获得不同加工深度性质均一的三维埋入式结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119270429B
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411815619.8
申请日：2024-12-11
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B6/136
Abstract: 本发明公开了利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法，属于激光加工技术领域，该方法采用飞秒激光原位多次改性能精确优化单次直写中90º急弯波导存在弯曲损耗大的问题。其主要原理如下，通过控制高精度三维运动平台使飞秒激光聚焦在材料内部，调节飞秒激光加工能量和激光扫描速度达到单模波导的制备条件；再利用飞秒激光原位多次改性调控波导性能，制备出不同弯曲半径的90º低损耗急弯波导。原位多次改性能使材料中受激光改性的材料结构更加致密，波导的芯层折射率升高，有助于抑制辐射损耗；原位多次改性也可以驱动波导中的杂质离子迁移至波导边界，降低杂质离子对光的散射和吸收，降低波导的吸收和散射损耗。该方法的制备工艺简单，可靠性高，简单易实现。
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公开(公告)号：CN119575600A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411718094.6
申请日：2024-11-27
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B13/00 , G02B13/06 , G02B13/18 , G02B27/00 , G02B3/00 , G03B17/12 , H04N23/55 , B29C64/386 , B29C64/379 , B29C64/35 , B33Y50/00 , B33Y40/00 , B33Y40/20
Abstract: 本发明公开了一种大视场角的微型相机及其制备方法，属于微型成像系统设计及制备技术领域，从上到下依次包括非均一曲面微透镜阵列、窗口保护玻璃及微型图像传感器；所述非均一曲面微透镜阵列呈球冠形，由球形基座及位于其上的中心子透镜、周围子透镜组成；所述中心子透镜位于球冠顶点，所述周围子透镜沿纬线分布，周围子透镜的焦距沿纬度变化。本发明利用非均一曲面微透镜阵列替代传统多透镜复合透镜，可实现微尺度下大视场、低像差；非均一曲面微透镜阵列可以直接加工和集成到微型图像传感器表面，无需额外的装配和对准；并通过设计子透镜的轮廓，以获得非均一化的子透镜焦距，使得不同朝向的子透镜聚焦和成像到同一平面上，克服了曲面微透镜阵列弯曲的焦面与平面探测器集成时的散焦问题。
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公开(公告)号：CN112985478B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202110174070.9
申请日：2021-02-09
Abstract: 本申请涉及微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构及系统，具体而言，涉及传感器领域。本申请提供的微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构，结构包括：主体结构、第一体光栅、第二体光栅和光纤；柱体结构内部设置有孔洞，孔洞的两个相对的面设置有第一体光栅和第二体光栅，且主体结构的外部设置有光纤，由于温法布里‑珀罗腔两侧设置有第一体光栅和第二体光栅，该主体结构内的孔洞构成了法布里‑珀罗腔，当需要对待测信息进行测量时，将本申请的结构设置在待测环境中，当待测环境中的待测因素改变时，法布里‑珀罗腔内部的光束干涉谱线发生漂移，通过对光束干涉谱线的检测，并根据光束干涉谱线的变化与待测因素的对应关系，得到待测因素的量。
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公开(公告)号：CN113770515A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111128012.9
申请日：2021-09-26
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/064 , B23K26/03 , G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光二次直写重置定向耦合器耦合系数的方法及应用，属于激光加工技术领域，包括玻璃样品的清洁；激光加工光路的搭建及待加工样品的调平；飞秒激光第二次直写器件；首先关闭光闸，并将玻璃样品移动到起始加工位置；然后转动半波片，调节激光功率；最后操控软件直接运行预先写好的加工程序，在耦合区两根波导的加工区域内分别进行二次直写；加工结束后对样品进行抛光，得到与原有波导耦合间距不同的两根新波导；所述加工区域为距离原有波导的中轴线上下0μm‑3μm的区域内。本发明的方法可以实现定向耦合器初始分束比的修复以及重新分配，从而解决利用飞秒激光制备定向耦合器及集成芯片过程中存在的制造误差问题。
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公开(公告)号：CN113636547A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110911690.6
申请日：2021-08-10
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种利用空间光调制技术辅助激光直写制备的金刚石NV色心、制备方法及其应用，属于飞秒激光加工技术领域，通过利用空间光调制技术调制后的飞秒激光，在金刚石内部诱导局部改性产生空位，之后对样品进行退火，最终得到金刚石内部单个的NV色心；主要原理是对激光焦点相位进行预补偿，利用算法校正激光焦点由于折射率失匹而产生的像差，恢复由于像差被拉伸的激光焦点形貌、避免光斑被拉伸，使激光在金刚石内部大深度下仍然保持焦点能量密度集中，在样品退火后得到大深度下、高稳定性、高产率、窄光学线宽的金刚石内部单NV色心。
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