公开(公告)号：CN101126668B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200710046174.1

申请日：2007-09-20

Applicant: 复旦大学

Inventor： 徐旭 ,  李林森 ,  周前红 ,  梁荣庆

IPC: G01L21/30 ,  H01J41/02

Abstract: 本发明属于真空测量技术领域，具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括：两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极；在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压，实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽；两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉，能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题，提高其测量稳定性和准确度，可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量，同时配合电离真空规管使用，测量放电气体的电离度，规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点，是一种易于在工业界推广的气体电离度监测仪器。

公开(公告)号：CN101126668A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200710046174.1

申请日：2007-09-20

Applicant: 复旦大学

Inventor： 徐旭 ,  李林森 ,  周前红 ,  梁荣庆

IPC: G01L21/30 ,  H01J41/02

Abstract: 本发明属于真空测量技术领域，具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括：两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极；在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压，实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽；两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉，能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题，提高其测量稳定性和准确度，可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量，同时配合离子真空规管使用，测量放电气体的电离度，规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点，是一种易于在工业界推广的新型气体电离度监测仪器。

公开(公告)号：CN201162635Y

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200820056630.0

申请日：2008-03-27

Applicant: 复旦大学

Inventor： 刘峰 ,  聂宗福 ,  徐旭 ,  周前红 ,  梁荣庆

IPC: F03H1/00

CPC classification number: F03H1/0087

Abstract: 本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体为一种双电极固体脉冲等离子体推进器。该推进器以传统平行板脉冲等离子体推进器为蓝本，再增加一对平行板放电电极、两个二极管和一个高压开关，使得主电容放电的第一个半周期在第一对放电电极放电；主电容极性反向后，后续放电均在第二对电极发生，利用高压电容放电产生脉冲等离子体，等离子体在自身感应磁场与电流作用形成的洛伦兹力下被推出，产生推力。该推进器能进一步提高固体推进剂利用率、比冲以及整体工作效率。该推进器设计简单、成本适中，具有高推进剂利用率、高比冲和相对高的工作效率，可应用于微小卫星，完成姿态控制、位置保持、阻力补偿、轨道提升和维持以及编队飞行等空间任务。

公开(公告)号：CN201114977Y

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200720074856.9

申请日：2007-09-20

Applicant: 复旦大学

Inventor： 徐旭 ,  李林森 ,  刘峰 ,  梁荣庆

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/02

Abstract: 本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体为一种射频电感耦合等离子体发生天线。本天线采用三维螺旋线型结构设计，在顶部电感耦合情况下，射频天线内外线圈和耦合介质板的距离是变化的。根据装置特点有两种变化方式：其一为由内向外天线和介质板的距离依次递减；其二为由内向外天线和介质板的距离依次递增，并根据装置实际情况调整至适当值。该天线可以多个组合起来使用进一步提升效果。该新型射频电感耦合等离子体发生天线在顶部电感耦合情况下可以提高等离子体的径向均匀性。本天线设计简单、成本适中，具有传统射频天线不具有的优势，可以应用于微电子制造、仪器制造等工业领域。

公开(公告)号：CN201075049Y

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200720074626.2

申请日：2007-09-13

Applicant: 复旦大学

Inventor： 徐旭 ,  李林森 ,  周前红 ,  梁荣庆

IPC: G01L21/30

Abstract: 本实用新型属于真空测量技术领域，具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括：两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极；在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压，实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽；两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉，能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题，提高其测量稳定性和准确度，可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量，同时配合离子真空规管使用，测量放电气体的电离度，规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点，是一种易于在工业界推广的新型气体电离度监测仪器。