公开(公告)号：JP5422563B2

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：JP2010530833

申请日：2009-09-18

Applicant: 宇部エクシモ株式会社

Inventor： 英克 黒田

IPC: C23C18/44

CPC classification number: C23C18/1635 ,  C23C18/30 ,  C23C18/31 ,  C23C18/42 ,  G02F1/1339

公开(公告)号：JP5620678B2

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：JP2009538214

申请日：2008-10-21

Applicant: 宇部エクシモ株式会社

Inventor： 英克 黒田 ,  英克 黒田

IPC: C23C18/18

CPC classification number: C23C18/44 ,  C23C18/1635 ,  C23C18/1879 ,  C23C18/30 ,  H05K3/323