公开(公告)号：CN119960268A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202510244471.5

申请日：2025-03-03

Applicant: 清华大学 ,  张江国家实验室

Inventor： 张鸣 ,  步扬 ,  王越博 ,  龚爽 ,  黄河 ,  孙思凡 ,  刘相波 ,  万悦芯 ,  蔡森 ,  邢硕 ,  郭继伟

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明涉及光学设备技术领域，尤其涉及一种接近式曝光装置及其使用方法。该装置包括底座、固定座、晶圆承片台、掩模台、压电台、测量台和测量单元。晶圆承片台设于固定座上，并能够进行水平移动；掩模台掩模台用于安装和更换掩模并能够进行竖直移动；压电台用于安装硅片并调节硅片与掩模之间的间隙；测量单元用于测量掩模与硅片的相对位置。本发明提供的一种接近式曝光装置及其使用方法，取消了物镜，结构简单，易于实现小型化，造价低廉；可通过测量单元直接测量掩模和硅片的距离，横置式结构可以减少重力对硅片及压电台的影响，掩模和硅片其自身及相互之间距离的温度漂移和纳米抖动明显降低，更便于实现掩模和硅片的调平调焦。

公开(公告)号：CN118732406A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202310334109.8

申请日：2023-03-30

Applicant: 张江国家实验室 ,  中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 李笑然 ,  龚爽 ,  吴芳 ,  步扬 ,  陈逸文

IPC: G03F7/20

Abstract: 本申请涉及基于相分离的激光调制装置及系统。该装置包括漫透射光学元件，用于对极紫外波段的激光束进行随机相位调制并且透射所述激光束，其中所述漫透射光学元件包括自支撑膜，所述自支撑膜具有相分离的多晶相和无定型相。

公开(公告)号：CN118732407A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202310335541.9

申请日：2023-03-30

Applicant: 张江国家实验室 ,  中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 吴芳 ,  龚爽 ,  李笑然 ,  步扬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本申请涉及基于碳纳米管的激光调制装置及系统。该装置包括：透过式随机相位调制器，用于对激光束进行随机相位调制并且透射所述激光束，其中所述透过式随机相位调制器包括碳纳米管薄膜。

公开(公告)号：CN118567187A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202310182692.5

申请日：2023-02-28

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 龚爽 ,  吴芳 ,  步扬 ,  鲁湛

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/48

Abstract: 本申请涉及用于激光调制的装置以及用于光刻的系统。该装置(100)包括：微反射镜组(110)，所述微反射镜组(110)包括多个微反射面用于反射激光束，其中至少两个所述微反射面具有不同的倾斜状态；以及驱动机构(120)，所述驱动机构(120)用于驱动所述微反射镜组进入运动状态。

公开(公告)号：CN119374715A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202310935163.8

申请日：2023-07-27

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 龚爽 ,  吴芳 ,  步扬

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/04 ,  G01J1/02 ,  G06F17/14

Abstract: 本申请涉及用于测量光场分布的装置和方法。该装置包括：孔径掩模器件，孔径掩模器件被放置在待测光场的空域面或频域面并且具有透光区域，透光区域用于透过待测光场的一部分；光学传输模块，光学传输模块用于对部分待测光场的进行调制以使得其Wigner分布随传播过程在相空间内旋转；以及光强探测模块，光强探测模块用于探测部分待测光场经光学传输模块调制后的二维光强分布。