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公开(公告)号：CN113631242A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024567.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 栗田工业株式会社
Abstract: 一种微粒去除装置，具有去除液体中的微粒的膜，所述微粒去除装置的特征在于，串联配置具有正电荷的精密过滤膜或超滤膜、以及具有负电荷的精密过滤膜或超滤膜。一种微粒去除方法，使用所述装置。可按照具有负电荷的膜、具有正电荷的膜的顺序通液，由此，能够高水平地去除液体中的粒径为50nm以下特别是10nm以下的极微小的微粒。也可按照与上述相反的顺序来通液。
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公开(公告)号：CN113631269A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024017.4
申请日：2020-03-10
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: B01J41/05 , B01J41/07 , B01J41/13 , B01J41/14 , B01J47/014 , B01J47/12 , B01J47/127
Abstract: 一种有机溶剂的处理方法，从电子部件制造工序中使用的有机溶剂中去除微粒，所述有机溶剂的处理方法的特征在于，包括使处理材料与所述有机溶剂接触的工序，所述处理材料是在水中具有正电荷或负电荷且含水率为3质量％以上的处理材料。一种面向电子部件制造工序的有机溶剂处理材料，通过与电子部件制造工序中使用的有机溶剂接触从而从有机溶剂中去除微粒，所述有机溶剂处理材料在水中具有正电荷或负电荷。
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公开(公告)号：CN105283422B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201480033352.5
申请日：2014-07-22
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: C02F9/00 , B01D61/022 , B01D61/025 , B01D61/142 , B01D61/145 , B01D61/147 , B01D61/58 , B01D65/02 , B01D2311/2623 , B01D2311/2692 , B01D2317/04 , B08B3/14 , B08B9/027 , B08B9/032 , C02F1/20 , C02F1/32 , C02F1/325 , C02F1/42 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F2103/04 , C02F2301/043 , C02F2303/04 , C02F2303/16
Abstract: 在进行杀菌洗涤时，不会将超纯水制造系统内的污染物质供给至通往水使用点的供给配管，并且在进行杀菌洗涤后会防止由微粒子去除膜所捕捉到的污染物质所造成的系统污染，而在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点(Usepoint)。在至少具备：储槽(11)、泵(12)、热交换器(13)、紫外线装置(14)、离子交换装置(15)、及第1微粒子去除膜装置(16)的超纯水制造系统中，将第2微粒子去除膜装置(17)设置成与该第1微粒子去除膜装置(16)呈并列，并且将杀菌水及冲洗水的一部分供给至第1微粒子去除膜装置(16)，而不穿透薄膜来从给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过第2微粒子去除膜装置(17)。
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公开(公告)号：CN105517960A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480048799.X
申请日：2014-09-30
Applicant: 栗田工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种可稳定地制造微粒经高度去除的高水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置，其具有从一次纯水制造超纯水的次系统，在该次系统的最终段中设置有膜装置，其特征在于，该膜装置是以串联的方式设置有多段，并且，第1段的膜装置为UF膜装置、MF膜装置或RO膜装置，最终段的膜装置为UF膜装置或未经离子交换基修饰的MF膜装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105283422A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480033352.5
申请日：2014-07-22
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: C02F9/00 , B01D61/022 , B01D61/025 , B01D61/142 , B01D61/145 , B01D61/147 , B01D61/58 , B01D65/02 , B01D2311/2623 , B01D2311/2692 , B01D2317/04 , B08B3/14 , B08B9/027 , B08B9/032 , C02F1/20 , C02F1/32 , C02F1/325 , C02F1/42 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F2103/04 , C02F2301/043 , C02F2303/04 , C02F2303/16
Abstract: 在进行杀菌洗涤时，不会将超纯水制造系统内的污染物质供给至通往水使用点的供给配管，并且在进行杀菌洗涤后会防止由微粒子去除膜所捕捉到的污染物质所造成的系统污染，而在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点(Usepoint)。在至少具备：储槽(11)、泵(12)、热交换器(13)、紫外线装置(14)、离子交换装置(15)、及第1微粒子去除膜装置(16)的超纯水制造系统中，将第2微粒子去除膜装置(17)设置成与该第1微粒子去除膜装置(16)呈并列，并且将杀菌水及冲洗水的一部分供给至第1微粒子去除膜装置(16)，而不穿透薄膜来从给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过第2微粒子去除膜装置(17)。
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公开(公告)号：CN105051519A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480017748.0
申请日：2014-03-13
Applicant: 栗田工业株式会社
Inventor： 田中洋一
CPC classification number: G01N15/06 , C02F1/008 , C02F2101/36 , C02F2103/04 , C02F2209/006 , C02F2209/105 , G01N15/0625 , G01N35/00712 , G01N2001/1006 , G01N2015/0053
Abstract: 本发明提供一种在测定试样水中的微粒的计量部的测定结果出现异常的状况下，也可以及时地捕获试样水中的微粒的技术。本发明提供一种微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。
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公开(公告)号：CN111788660B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN201980015466.X
申请日：2019-02-20
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种减少通过了溶解模块的处理液中的粒子量的处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法。处理液供给单元(3)是将已由过滤器(31a)～过滤器(31d)过滤的处理液供给至多个处理单元(2)中的装置。供给阀(33)插装于与过滤器(31a)～过滤器(31d)连接的一次侧供给配管(32)上。另外，在一次侧供给配管(32中的供给阀(33)的一次侧连接有排液配管(41)。而且，排液阀(42)插装于排液配管(41)上。控制部(52)对应于处理液中的粒子量，将供给阀(33)关闭，并将排液阀(42)打开，由此将处理液经由溶解模块(30)及一次侧供给配管(32)及排液配管(41)而排液。
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公开(公告)号：CN113631269B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202080024017.4
申请日：2020-03-10
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: B01J41/05 , B01J41/07 , B01J41/13 , B01J41/14 , B01J47/014 , B01J47/12 , B01J47/127
Abstract: 一种有机溶剂的处理方法，从电子部件制造工序中使用的有机溶剂中去除微粒，所述有机溶剂的处理方法的特征在于，包括使处理材料与所述有机溶剂接触的工序，所述处理材料是在水中具有正电荷或负电荷且含水率为3质量％以上的处理材料。一种面向电子部件制造工序的有机溶剂处理材料，通过与电子部件制造工序中使用的有机溶剂接触从而从有机溶剂中去除微粒，所述有机溶剂处理材料在水中具有正电荷或负电荷。
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公开(公告)号：CN111788660A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201980015466.X
申请日：2019-02-20
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种减少通过了溶解模块的处理液中的粒子量的技术。处理液供给单元3是将已由过滤器31a～过滤器31d过滤的处理液供给至多个处理单元2中的装置。供给阀33插装于与过滤器31a～过滤器31d连接的一次侧供给配管32上。另外，在一次侧供给配管32中的供给阀33的一次侧连接有排液配管41。而且，排液阀42插装于排液配管41上。控制部52对应于处理液中的粒子量，将供给阀33关闭，并将排液阀42打开，由此将处理液经由溶解模块30及一次侧供给配管32及排液配管41而排液。
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