公开(公告)号：CN107036548A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201611011980.0

申请日：2016-11-17

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 半田博久

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G02B21/24 ,  G02B21/36 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06

Abstract: 本发明公开了干涉物镜及基准表面单元组。干涉物镜包括：物镜，构造成将从光源发出的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。

公开(公告)号：CN107036548B

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN201611011980.0

申请日：2016-11-17

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 半田博久

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G02B21/24 ,  G02B21/36 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06

Abstract: 本发明公开了干涉物镜及基准表面单元组。干涉物镜包括：物镜，构造成将从光源发出的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。

公开(公告)号：CN301664946S

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN201130023531.X

申请日：2011-02-17

Applicant: 株式会社三丰

Designer： 松宫贞行 ,  须贝裕 ,  大谷茂 ,  青柳信一郎 ,  矶部仁志 ,  半田博久

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：坐标测量装置用远程探针。2．本外观设计产品的用途：本产品与坐标测量装置结合用于高精度测量被加工件的三维位置。3．本外观设计的设计要点：在于产品的形状。4．最能表明设计要点的图片或者照片：主视图。5．示出半透明部参考图1和2中阴影部为半透明部。