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公开(公告)号:JP6428779B2
公开(公告)日:2018-11-28
申请号:JP2016540187
申请日:2015-07-31
Applicant: 株式会社村田製作所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/61
CPC classification number: G01J3/427 , G01J3/0235 , G01J3/28 , G01J3/32 , G01J5/34 , G01J2005/0048 , G01J2005/068 , G01N21/274 , G01N21/314 , G01N21/3504 , G01N33/0006 , G01N33/004
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