解析装置、解析方法及解析程序
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112752979A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN201980062862.8

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 为了解决解析从测量系统得到的信息来管理测量系统这一问题,提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得复数个测量值,所述复数个测量值是试验装置对受测器件进行测量而得的;解析部,其解析复数个测量值并抽出测量值的偏差;以及,管理部,其基于测量值的偏差来检测试验装置的异常。另外,为了解决上述问题,提供一种解析方法。另外,为了解决上述问题,提供一种解析程序。

    解析装置、解析方法及解析程序

    公开(公告)号:CN112752977A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN201980062668.X

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值;机器学习部,其使用复数个测量值,通过机器学习来学习位置依存成分的模型,所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置;以及,解析部,其从复数个测量值将位置依存成分分离出来,且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外,提供一种解析方法。另外,提供一种解析程序。

    维护装置、维护方法及维护程序

    公开(公告)号:CN114502968B

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202080068241.3

    申请日:2020-09-28

    Abstract: 本发明提供一种维护装置,具备:取得部,其将经由复数个治具依序分别对不同的复数个被测量组件进行试验时的复数个试验结果,针对每个治具加以取得;算出部,其使用复数个试验结果,针对每个治具算出试验结果的变动;及,决定部,其基于试验结果的变动来决定治具的维护时机。

    解析装置、解析方法及解析程序

    公开(公告)号:CN112752978B

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN201980062850.5

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值,并有效地利用解析得到的信息,提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得复数个测量值,所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的;解析部,其解析复数个测量值并算出变动数据,所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动;以及,管理部,其基于变动数据来管理治具的状态。

    解析装置、解析方法及解析程序

    公开(公告)号:CN112752977B

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN201980062668.X

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值;机器学习部,其使用复数个测量值,通过机器学习来学习位置依存成分的模型,所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置;以及,解析部,其从复数个测量值将位置依存成分分离出来,且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外,提供一种解析方法。另外,提供一种解析程序。

    维护装置、维护方法及维护程序

    公开(公告)号:CN114502968A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202080068241.3

    申请日:2020-09-28

    Abstract: 本发明提供一种维护装置,具备:取得部,其将经由复数个治具依序分别对不同的复数个被测量组件进行试验时的复数个试验结果,针对每个治具加以取得;算出部,其使用复数个试验结果,针对每个治具算出试验结果的变动;及,决定部,其基于试验结果的变动来决定治具的维护时机。

    解析装置、解析方法及解析程序

    公开(公告)号:CN112752978A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN201980062850.5

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值,并有效地利用解析得到的信息,提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得复数个测量值,所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的;解析部,其解析复数个测量值并算出变动数据,所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动;以及,管理部,其基于变动数据来管理治具的状态。

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