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公开(公告)号:CN112752979A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201980062862.8
申请日:2019-03-26
Applicant: 爱德万测试株式会社
Abstract: 为了解决解析从测量系统得到的信息来管理测量系统这一问题,提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得复数个测量值,所述复数个测量值是试验装置对受测器件进行测量而得的;解析部,其解析复数个测量值并抽出测量值的偏差;以及,管理部,其基于测量值的偏差来检测试验装置的异常。另外,为了解决上述问题,提供一种解析方法。另外,为了解决上述问题,提供一种解析程序。
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公开(公告)号:CN112752977A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201980062668.X
申请日:2019-03-26
Applicant: 爱德万测试株式会社
Abstract: 提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值;机器学习部,其使用复数个测量值,通过机器学习来学习位置依存成分的模型,所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置;以及,解析部,其从复数个测量值将位置依存成分分离出来,且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外,提供一种解析方法。另外,提供一种解析程序。
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公开(公告)号:CN112752978B
公开(公告)日:2024-08-06
申请号:CN201980062850.5
申请日:2019-03-26
Applicant: 爱德万测试株式会社
Abstract: 为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值,并有效地利用解析得到的信息,提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得复数个测量值,所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的;解析部,其解析复数个测量值并算出变动数据,所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动;以及,管理部,其基于变动数据来管理治具的状态。
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公开(公告)号:CN112752977B
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN201980062668.X
申请日:2019-03-26
Applicant: 爱德万测试株式会社
Abstract: 提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值;机器学习部,其使用复数个测量值,通过机器学习来学习位置依存成分的模型,所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置;以及,解析部,其从复数个测量值将位置依存成分分离出来,且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外,提供一种解析方法。另外,提供一种解析程序。
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公开(公告)号:CN112752978A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201980062850.5
申请日:2019-03-26
Applicant: 爱德万测试株式会社
Abstract: 为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值,并有效地利用解析得到的信息,提供一种解析装置,其具备:取得部,其取得复数个测量值,所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的;解析部,其解析复数个测量值并算出变动数据,所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动;以及,管理部,其基于变动数据来管理治具的状态。
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