光模块以及光模块的制造方法

    公开(公告)号:CN103513345B

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:CN201310242366.5

    申请日:2013-06-18

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以采用固定有光纤的辅助基板,来高精度地定位光纤与光学元件的光模块以及光模块的制造方法。光模块(1)以及其制造方法的特征在于,具有:包含支持层(31)、活性层(33)、配置在支持层与活性层之间的BOX层(32)以及高度调整层(34)的辅助基板(30);光纤(20);固定于硅基板(10)的光学元件(40)。辅助基板(30)具有由活性层与BOX层形成的固定用槽(36),光纤被固定在固定用槽内,辅助基板通过高度调整层来相对于硅基板定位,由此光纤与光学元件被光耦合。

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