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公开(公告)号：CN114088006A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202010856792.8
申请日：2020-08-24
Applicant: 陈亮嘉
Abstract: 本发明提供共焦显微系统及其光学照明装置。该共焦显微系统，包括一光学照明装置。该光学照明装置包括有一光学模块以及一光调制单元。该光学模块，用以产生多道具有一连续光谱或准单频光谱的入射光。该光调制单元，具有多个光调制元件，每一光调制元件用以接收具有不同入射角度的入射光，并将其调制形成具有一发散角度范围的调制光，使该多个反射元件所产生的总体绕射效应不会破坏连续光谱的连续性，使得调制光的光谱图形接近于该连续光源的光谱图形，或确保后端光学系统对准单频光谱的接收性。通过此特性，该光学照明装置与共焦显微系统结合，可以保持光谱完整性或光能的有效传递，进而可以提升表面形貌深度测量的准确度。
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