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公开(公告)号：KR101018736B1
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020090000649
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본 발명은 미세 형상을 가진 스텐실 마스크를 이용하여 재료를 몰딩하고 그 위에 전극패터닝 함으로써 미세전극을 쉽게 형성할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해서 본 발명은, 일부영역에 상하가 관통된 미세 형상을 갖는 스텐실 마스크의 한쪽 면을 박막으로 막는 폐쇄단계;
상기 폐쇄단계에 의해 한쪽 면이 막힌 스텐실 마스크를 몰드로 사용하여 그 안에 센서감응물질을 넣어 미세형상으로 몰딩하는 몰딩단계;
상기 몰딩단계를 거친 스텐실 마스크를 뒤집어서 상기 박막을 위쪽으로 향하게 하고 아래쪽을 PCB기판의 구리면에 붙이는 정렬단계;
상기 박막을 제거하고, 상기 박막을 제거한 면에 금속 코팅을 하여 전극 금속을 입히는 코팅단계;
상기 스텐실 마스크를 제거하여 원하는 전극을 생성하는 전극형성단계;
를 포함하는 것을 특징으로 한다.
미세전극, 몰딩, 스텐실 마스크-
公开(公告)号：KR1020100081419A
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：KR1020090000649
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: PURPOSE: An electrode patterning method is provided to easily form a fine electrode by executing an electrode patterning after molding a sensor induced material. CONSTITUTION: A one side of a stencil mask(10) is closed with a thin film(20). A sensor induced material(30) is molded by using the stencil mask. The rear side of the stencil mask is attached to the copper surface(50) of a PCB(Printed Circuit Board). The sensor induced material is solidified for 12 hours at the temperature of 60°C or 1 hour at the temperature of 100°C. The thin film is removed from one side of the stencil mask. An electrode metal(60) is coated in one side of the stencil mask. The electrode is formed by eliminating the stencil mask.
Abstract translation: 目的：提供电极图案化方法，以便在模制传感器感应材料之后执行电极图案以容易地形成精细电极。 构成：模板掩模（10）的一侧用薄膜（20）封闭。 传感器感应材料（30）通过使用模版掩模模制。 模板掩模的后侧连接到PCB（印刷电路板）的铜表面（50）。 传感器感应材料在100℃的温度下在60℃或1小时下固化12小时。 从模板掩模的一侧去除薄膜。 电极金属（60）涂覆在模板掩模的一侧。 通过去除模板掩模形成电极。
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公开(公告)号：KR1020100081417A
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：KR1020090000647
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: PURPOSE: A separated micromold for fabricating of high height ratio microstructure by liga process, and a manufacturing method thereof are provided to prevent dimorphism problem and damage to a structure. CONSTITUTION: A separated micromold for fabricating of high height ratio microstructure comprises a first mold(102) and a second mold(103). A hole(104) of the aspect ratio micro structure shape is formed in order to separate from the vertical direction. The hole is included with the bond of the second mold and the first mold. An embossment aligning structure(105) is formed on the combining surface of the first mold and the second mold. An intaglio aligning structure(106) is formed on one side of the combining surface of the first mold and the second mold. The intaglio aligning structure copes with the embossment aligning structure.
Abstract translation: 目的：用于通过连接工艺制造高比例微结构的分离微型薄膜及其制造方法，以防止二态性问题和结构损坏。 构成：用于制造高比例微结构的分离的微型组件包括第一模具（102）和第二模具（103）。 形成纵横比微结构形状的孔（104），以便与垂直方向分离。 该孔包括在第二模具和第一模具的结合中。 在第一模具和第二模具的组合表面上形成压花对准结构（105）。 凹版对准结构（106）形成在第一模具和第二模具的组合表面的一侧上。 凹版对准结构处理压花对准结构。
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公开(公告)号：KR1020100081421A
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：KR1020090000651
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: PURPOSE: A minute fluid movement or velocity sensor and a hydrophone using the same are provided to detect the minute fluid flow change of underwater. CONSTITUTION: A minute fluid movement or velocity sensor comprises a minute sense structure(11) and a stress sensor(12). The minute sense structure is perpendicularly projected in order to sense the external fluid flow. The minute sense structure has the aspect ratio more than 5 while bending with the fluid flow. The stress sensor is installed in a rigidizer(13) in which the minute sense structure is installed. The stress sensor is respectively welded in the rhombic of the minute sense structure bottom. The stress sensor senses the pressure gradient according to the movement of the minute sense structure. The minute sense structure is formed into the plastic.
Abstract translation: 目的：提供一个微小的流体运动或速度传感器和使用它的水听器来检测水下的微小流体流动变化。 构成：微小的流体运动或速度传感器包括微分结构（11）和应力传感器（12）。 垂直投影微分结构以感测外部流体流动。 微分结构在流体流动弯曲时具有大于5的纵横比。 应力传感器安装在其中安装有微小结构的刚性机构（13）中。 应力传感器分别焊接在分感觉结构底部的菱形中。 应力传感器根据微小感觉结构的运动感应压力梯度。 分感觉结构形成塑料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100081420A
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：KR1020090000650
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: PURPOSE: A minute pressure sensor of both side electrode geometry and a manufacturing method thereof are provided to improve the sense sensitivity of a sensor. CONSTITUTION: A minute pressure sensor of both side electrode geometry comprises an upper electrode(10), a sensor inductor(30) and a bottom electrode(20). The upper electrode has the cantilever fashion. The sensor inductor is patterned on the upper side of the upper electrode with the stencil technique or the screen printing method. The bottom electrode is installed on a PCB substrate(1). The bottom electrode tallies the sense direction by the direction of the overburden pressure applied from outside and sensor inductor. The sensor inductor is composed of the electricity living polymer composite.
Abstract translation: 目的：提供两侧面电极几何形状的微小压力传感器及其制造方法，以提高传感器的感测灵敏度。 构成：两侧面电极几何形状的微小压力传感器包括上电极（10），传感器电感器（30）和底电极（20）。 上电极具有悬臂式。 传感器电感器通过模板技术或丝网印刷方法在上电极的上侧进行图案化。 底部电极安装在PCB基板（1）上。 底部电极通过从外部和传感器电感器施加的覆盖层压力的方向与感测方向一致。 传感器电感由电活性聚合物复合材料组成。
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公开(公告)号：KR1020100081418A
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：KR1020090000648
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: PURPOSE: A mold system for molding a micro structure of the single shape is provided to manufacture the micro structure of the single shape having a high aspect ratio. CONSTITUTION: A mold system for molding single microstructure comprises a fixed side mold(5), a moving side mold(6), and a cavity. The fixing side mold installs to a press die(4). The surface of the fixing side mold has the sunken-in feature corresponding to a part of the microstructures. The moving side mold installs to a mold transport part(2). The surface of the moving side mold has the sunken-in feature corresponding to a part of the microstructures. The fixing side mold and moving side mold meet and collaboration is formed.
Abstract translation: 目的：提供用于模制单一形状的微结构的模具系统，以制造具有高纵横比的单一形状的微结构。 构成：用于模制单个微结构的模具系统包括固定侧模具（5），移动侧模具（6）和腔体。 固定侧模具安装在压模（4）上。 固定侧模具的表面具有对应于一部分微观结构的凹陷特征。 移动侧模具安装到模具输送部件（2）上。 移动侧模具的表面具有对应于微结构的一部分的凹陷特征。 固定侧模具和移动侧模具组合形成。
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公开(公告)号：KR101101220B1
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：KR1020090000651
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본 발명은 깊은 물속에서 발생하는 미세한 유체유동의 변화를 직접적으로 감지하여 유체유동의 크기와 방향을 모두 감지할 수 있도록 하는 미세 유체유동센서에 관한 것으로서,
외부의 유체유동을 감지할 수 있도록 돌출 형성되고 유체유동에 의해 휘어지며, 직경에 비해 상대적으로 길이가 긴 고폭비를 갖는 미세 감응 구조물(11)과; 상기 미세 감응 구조물(11)이 설치된 지지 구조물(13)에 설치되고 상기 미세 감응 구조물(11) 하단의 사방에 각각 접합되어 상기 미세 감응 구조물(11)의 움직임에 따른 압력변화를 감지하는 4개의 응력센서(12);를 포함하며, 수십 내지 수백 ㎛ 크기의 미세한 유체유동을 감지하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 미세 유체유동의 방향 및 크기를 계산할 수 있으므로 유체유동 감지의 신뢰성이 향상된다. 그리고, 이 미세 유체유동센서를 통해 진동파의 형태로 전달되는 수중소음을 측정하는 수중청음기를 구성할 수 있다.
미세 유체유동, 수중청음기, 패시브소나, 미세감응구조물, 고폭비, 진동파, 응력센서, 휨모멘트-
公开(公告)号：KR101077577B1
公开(公告)日：2011-10-27
申请号：KR1020090000650
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 이를해결하기위해, 본발명은얇은금속전극위에먼저전기활성고분자복합체인센서감응물질을패터닝하여캔틸레버형태의구조로하고, 외부로부터인가되는외부압력의방향과센서감응물질에의한감응방향이일치하도록상기금속전극을하부의금속전극에대향하는상태로접합하는간단한과정을통해미세압력센서를제조한다.
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公开(公告)号：KR101068844B1
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：KR1020090000648
申请日：2009-01-06
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본 발명은 각종 센서에 사용되는 높은 고폭비를 갖는 모사(毛絲)형태의 감응소자 등에 사용할 수 있도록 높은 고폭비를 갖는 부분과 낮은 고폭비를 갖는 부분이 일체로 형성된 단일형상의 마이크로 구조물을 제조하기 위한 이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치에 관한 것으로서,
진공환경하에서 몰드의 요철형상을 소재에 전사(轉寫)하여 마이크로미터(㎛) 내지 나노미터(nm) 단위의 미세구조물을 성형하는 마이크로 구조물 제조장치에 있어서,
프레임(1)에 고정 설치되는 프레스다이(press die, 4)와; 프레임에 승강 가능하게 설치되어 프레스다이의 상측에서 상하로 왕복 이동하는 몰드이송부(2)와; 프레스다이 및 몰드이송부에 내장된 가열 및 냉각유닛(8)과; 프레스다이에 장착되고 그 표면에 고폭비(aspect ratio)가 작은 원반형상의 오목형상부를 갖는 고정측 몰드(6)와; 몰드이송부에 장착되고 그 표면에 고폭비가 큰 기둥형상의 오목형상부를 갖는 가동측 몰드(5);를 포함하고, 몰드이송부에 의해 가동측 몰드가 상기 고정측 몰드와 접촉될 때 고정측 몰드의 오목형상부와 가동측 몰드의 오목형상부의 결합에 의해 주위로부터 폐쇄되는 하나의 공동(空洞, 9)을 형성하여, 고폭비가 작은 부분과 고폭비가 큰 부분이 일체로 이루어진 단일 형상의 마이크로 구조물을 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 각 몰드의 접촉면끼리의 맞닿음과 이에 의한 칼날작용에 의해 마이크로미터(㎛) 내지 나노미터(nm) 단위크기의 단일형상 마이크로 구조물을 얻을 수 있다.
마이크로 구조물, 핫엠보스, 몰드 시스템, 핫프레스, 감응소자, 지지구조물, 센서, 고폭비
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