公开(公告)号：WO2019135468A1

公开(公告)日：2019-07-11

申请号：PCT/KR2018/011584

申请日：2018-09-28

Applicant: 서강대학교산학협력단

Inventor： 김충익 ,  김명길 ,  호동일 ,  박병규

IPC: H01L29/786 ,  H01L29/51 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66

Abstract: 본 발명은 방사선 저항성 금속산화물 반도체 소재, 이의 용도, 이의 선별방법 및 전자기기의 방사선 내구성 평가방법에 관한 것이다. 본 발명은 금속산화물 반도체 소재 또는 이를 사용하여 제작된 소자에 양성자를 조사하여 금속산화물 반도체 소재 내 산소의 빈격자점(oxygen vacancy) 생성 여부 및 정도를 확인하여, 방사선 저항성 금속산화물 반도체 소재를 선별하는 것이 특징이다.

公开(公告)号：KR102075666B1

公开(公告)日：2020-02-10

申请号：KR1020180001374

申请日：2018-01-04

Applicant: 서강대학교산학협력단 ,  중앙대학교 산학협력단

Inventor： 김충익 ,  김명길 ,  호동일 ,  박병규

IPC: H01L29/786 ,  H01L29/51 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66

公开(公告)号：KR102245272B1

公开(公告)日：2021-04-28

申请号：KR1020190044445

申请日：2019-04-16

Applicant: 서강대학교산학협력단 ,  중앙대학교 산학협력단

Inventor： 김충익 ,  김명길 ,  호동일 ,  박병규

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은방사선저항성을발휘하는 ZITO(zinc-indium-tin oxide)을함유하는방사선저항성금속산화물반도체조성물및 이의제법및 용도에관한것이다. 본발명은우주공간, 원자력발전소, 또는방사선을이용하는의료기기또는보안기기사용공간에서사용되는방사선노출용전자기기가방사선저항성을발휘하는 ZITO을함유하는방사선저항성금속산화물반도체조성물을사용함으로써, 방사선에의한손상을방지하여, 소자의전기적특성(예, turn-on voltage(Von)), 장치의수명및 신뢰성을향상시킬수 있다.