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公开(公告)号：WO2018034437A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：PCT/KR2017/007879
申请日：2017-07-21
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N1/28 , G01N1/36 , H01L21/306 , H01L29/16 , H01L21/205 , H01L21/66 , H01L21/033
Abstract: 본 발명은 박막 물성측정 및 분석용 시료 제작 방법 및 이에 의해 제작된 시료에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 시료에서 여러 가지 물성을 측정하거나 분석할 수 있는 시료를 제작하는 방법 및 이에 의해 제작된 시료에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막 물성측정 및 분석용 시료 제작 방법은 기판의 전면에 절연 물질로 이루어진 제1층을 형성하고, 기판의 후면에 제2층을 형성하고, 제2층을 패터닝하고, 패터닝된 제2층을 마스크로 이용하여 기판의 후면을 식각하여 기판의 전면과 후면을 관통하는 관통공을 형성함으로써 제1층의 기판과 대향하는 면의 일부를 하나 이상 노출시키고, 기판의 후면을 통하여 제1층의 노출된 부분을 일부 식각하고, 그리고 제1층의 기판과 대향하는 면의 반대면 상에 대상 박막을 형성한다.
Abstract translation: 本发明涉及用于测量和分析薄膜的物理性质的样品制备方法和由此制备的样品，并且更具体地涉及能够测量或分析一个样品中的各种物理性质的样品制备方法 并通过该方法生成一个样本。 根据本发明的用于制造用于物理性质测量和分析的样品的方法包括：在衬底的前表面上形成第一绝缘材料层;在衬底的后表面上形成第二层;图案化第二层; 第二层用作掩模以蚀刻基板的后表面以形成贯穿基板的前表面和后表面的通孔，以暴露第一层的面向基板的表面的至少一部分， 对该层的暴露部分进行部分蚀刻，并且在第一层的与衬底相对的衬底的相对侧上形成目标薄膜。
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公开(公告)号：KR102238149B1
公开(公告)日：2021-04-08
申请号：KR1020200067173
申请日：2020-06-03
Applicant: 한화에어로스페이스 주식회사 , 서울대학교산학협력단
Abstract: 동박(銅薄)의제1층에그래핀의제2층이합성된결과의그래핀-합성동박에대하여, 제2층의그래핀의합성품질을검사하는방법으로서, 단계 (a) 내지 (f)를포함한다. 단계 (e)에서, 부분영역의영상들각각에대하여, 전체면적에대한그래핀결함면적의비율을구한다. 단계 (f)에서, 부분영역의영상들각각에대하여, 그래핀결함면적의비율이기준값보다낮은지의여부에따라양호또는불량을판정한다. 상기기준값은, 그래핀-합성동박의표본들에대한실험에의하여설정되되, 그래핀의전기적물성값이변하지않게하는그래핀결함면적의비율들중에서가장높은비율로서설정된다.
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3.发明授权
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公开(公告)号：KR1020180084575A
公开(公告)日：2018-07-25
申请号：KR1020170016614
申请日：2017-02-07
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: A61J3/00 , A61J1/14 , A61J2200/44 , F25B21/02 , F25B2321/023 , F25B2321/0251 , F25D11/02
Abstract: 본발명의실시예에따른개구부를가지는수용부; 및상기개구부에끼움결합되어, 상기수용부를밀폐가능한냉각부;를포함하고, 상기냉각부는온도조절부를구비하고, 상기온도조절부는펠티어소자를이용하여상기수용부의온도를조절할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160106832A
公开(公告)日：2016-09-13
申请号：KR1020150029231
申请日：2015-03-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: C01B32/184 , B01J19/18
Abstract: 본발명의실시예에따른그래핀의제조방법은, 고체상태의촉매금속층상에그래핀층을형성하는단계, 촉매금속층의제1 영역을용융시켜, 용융된제1 영역상의그래핀층을재결정화하는단계, 및제1 영역에인접한촉매금속층의제2 영역을용융시켜, 용융된제2 영역상의그래핀층을재결정화하는단계를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，石墨烯的制造方法包括以下步骤：在固体状态的催化剂金属层上形成石墨烯层; 熔化催化剂金属层的第一区域，并使熔融的第一区域上的石墨烯层再结晶; 和熔融邻近第一区域的催化剂金属层的第二区域，以及使熔融的第二区域上的石墨烯层再结晶。 制造方法形成具有高质量的石墨烯。
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公开(公告)号：KR101737946B1
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020160103476
申请日：2016-08-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N1/28 , G01N1/36 , H01L21/306 , H01L21/205 , H01L21/66 , H01L21/033
CPC classification number: G01N1/28 , G01N1/36 , H01L21/033 , H01L21/205 , H01L21/306 , H01L29/16
Abstract: 본발명은박막물성측정및 분석용시료제작방법및 이에의해제작된시료에관한것으로, 보다상세하게는하나의시료에서여러가지물성을측정하거나분석할수 있는시료를제작하는방법및 이에의해제작된시료에관한것이다. 본발명에따른박막물성측정및 분석용시료제작방법은기판의전면에절연물질로이루어진제1층을형성하고, 기판의후면에제2층을형성하고, 제2층을패터닝하고, 패터닝된제2층을마스크로이용하여기판의후면을식각하여기판의전면과후면을관통하는관통공을형성함으로써제1층의기판과대향하는면의일부를하나이상노출시키고, 기판의후면을통하여제1층의노출된부분을일부식각하고, 그리고제1층의기판과대향하는면의반대면상에대상박막을형성한다.
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7.发明公开
公开(公告)号：KR1020150039448A
公开(公告)日：2015-04-10
申请号：KR1020130118050
申请日：2013-10-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: C12N7/00 , G01N21/6486 , G01N33/04 , G01N33/52
Abstract: 본발명을살모넬라균에특이적으로감염하여생물발광을나타내는유전자조작박테리오파지및 이를이용한살모넬라검출방법에관한것으로, 본발명의박테리오파지를리포터파지로사용하여, 식품중 살모넬라를효과적으로검출할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及具有通过特异性感染沙门氏菌的生物发光的基因操作的噬菌体，以及使用该沙门氏菌来检测沙门氏菌的方法，其中可以通过使用噬菌体作为报道噬菌体来有效地检测沙门氏菌。
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公开(公告)号：KR101716785B1
公开(公告)日：2017-03-28
申请号：KR1020150029231
申请日：2015-03-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명의실시예에따른그래핀의제조방법은, 고체상태의촉매금속층상에그래핀층을형성하는단계, 촉매금속층의제1 영역을용융시켜, 용융된제1 영역상의그래핀층을재결정화하는단계, 및제1 영역에인접한촉매금속층의제2 영역을용융시켜, 용융된제2 영역상의그래핀층을재결정화하는단계를포함한다.
Abstract translation: 在根据本发明的一个实施例的制造石墨烯的方法，该固态是催化金属层上形成钉扎层，并熔化催化剂金属层的第一区域中，并且在熔融的第一区域重结晶是被钉扎层 相，通过熔化催化金属层的所述第二区域邻近mitje第一区域，和重结晶熔融的第二区域的销层上的是的步骤。
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公开(公告)号：KR101889069B1
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：KR1020170016614
申请日：2017-02-07
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명의실시예에따른개구부를가지는수용부; 및상기개구부에끼움결합되어, 상기수용부를밀폐가능한냉각부;를포함하고, 상기냉각부는온도조절부를구비하고, 상기온도조절부는펠티어소자를이용하여상기수용부의온도를조절할수 있다.
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