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公开(公告)号：KR1020100084813A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：KR1020090004153
申请日：2009-01-19
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/268
CPC classification number: H01L21/02595 , G03F7/70025 , H01L21/268 , H01L27/1214
Abstract: PURPOSE: A method for forming a polycrystalline film is provided to obtain an improved characteristic by growing a crystal using a mono-crystalline seed without a crystal-grain-boundary. CONSTITUTION: A substrate including a target film is prepared(S110). First laser is radiated to the target film through a first mask such that the target film is crystallized(S120). A first transmitting region and a first non-transmitting region are formed on the first mask. Second laser is radiated to the target film through a second mask such that the target film is crystallized(S130). A second transmitting region and a second non-transmitting region are formed on the second mask. A part of the target film under the second transmitting film is completely melted.
Abstract translation: 目的：提供用于形成多晶膜的方法，以通过使用不具有晶粒边界的单晶晶种生长晶体来获得改进的特性。 构成：制备包含靶膜的基板（S110）。 通过第一掩模将第一激光照射到目标膜，使得靶膜结晶（S120）。 在第一掩模上形成第一透射区域和第一非透射区域。 通过第二掩模将第二激光照射到目标膜，使得靶膜结晶（S130）。 在第二掩模上形成第二透射区域和第二非透射区域。 第二透射膜下的目标膜的一部分被完全熔化。
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公开(公告)号：KR101095368B1
公开(公告)日：2011-12-16
申请号：KR1020090004153
申请日：2009-01-19
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/268
Abstract: 본 발명은 결정립의 크기가 크고 균일한 다결정 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 다결정 박막 형성방법은 피결정화막이 형성되어 있는 기판을 준비한다. 그리고 피결정화막에 제1 레이저를 제1 투과 영역과 제1 비투과 영역 패턴이 형성되어 있는 제1 마스크를 통해 조사하여, 피결정화막을 결정화시킨다. 그리고 제1 레이저가 조사된 피결정화막에 제2 레이저를 제2 투과 영역과 제2 비투과 영역 패턴이 형성되어 있는 제2 마스크를 통해 조사하되, 제2 투과 영역 아래의 피결정화막 부분은 완전 용융(complete melting)되고 제2 비투과 영역 패턴 아래의 피결정화막 부분은 완전 용융되지 않도록 제2 레이저를 조사하여, 피결정화막을 결정화시킨다.
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公开(公告)号：KR101920726B1
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：KR1020120077363
申请日：2012-07-16
Applicant: 삼성전자주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G02B26/005 , G02B3/14
Abstract: 개시된가변광학소자어레이는투명기판; 상기투명기판상에형성되고, 소정패턴의전극배선을포함하는어드레싱층; 상기어드레싱층 위에형성되어다수의셀 영역을구획하는것으로, 서로쌍을이루어이격된이중벽을이루는형태로배치되고상기전극배선과전기적으로연결된다수의전도성격벽을포함하는격벽부; 상기이중벽을이루는한 쌍의전도성격벽사이의영역을채우는절연물질; 상기다수의셀 영역내에각각배치된것으로, 전도성의제1유체및 상기제1유체와섞이지않으며비전도성인제2유체; 상기다수의전도성격벽의상면및 상기셀 영역의내벽이되는측면에형성된절연코팅층; 상기다수의셀 영역전체를덮는투명전극층; 상기투명전극층과상기어드레싱층간에전압을인가할수 있는전압인가장치;를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140010717A
公开(公告)日：2014-01-27
申请号：KR1020120077363
申请日：2012-07-16
Applicant: 삼성전자주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G02B26/005 , G02B3/14
Abstract: A disclosed variable optical device array comprises a transparent circuit board; an addressing layer including the electrode wire of a predetermined pattern and formed on a transparent circuit board; a partition unit formed on the addressing layer to divide a plurality of cell areas, arranged in the shape of separated double walls in pair, and including a plurality of conductive partitions electrically connected to the electrode wire; an insulation material charged between the conductive partitions forming the double walls in pair; a non-conductive first fluid and a non-conductive second fluid mixed with the first fluid which are arranged in each cell area; an insulation coating layer formed at the upper surface of the conductive partition walls and the inner wall of the cell area; a transparent electrode layer covering the whole cell areas; and a voltage applying device capable of applying power between the transparent electrode layer and the addressing layer. [Reference numerals] (AA) Voltage applying device
Abstract translation: 所公开的可变光学器件阵列包括透明电路板; 寻址层，其包括预定图案的电极线并形成在透明电路板上; 分隔单元，其形成在所述寻址层上，以分离成一对分离的双壁形状的多个单元区域，并且包括电连接到所述电极线的多个导电隔板; 填充在形成双层壁的导电隔板之间的绝缘材料; 与第一流体混合的不导电的第一流体和非导电的第二流体布置在每个池区域中; 绝缘涂层形成在导电隔壁的上表面和电池区的内壁上; 覆盖整个细胞区域的透明电极层; 以及能够在透明电极层和寻址层之间施加电力的电压施加装置。 （附图标记）（AA）电压施加装置
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