公开(公告)号：WO2021153854A1

公开(公告)日：2021-08-05

申请号：PCT/KR2020/007340

申请日：2020-06-05

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  김영균 ,  조영균

IPC: G01N27/407 ,  G01N33/00

Abstract: 본 발명은 MIM 구조를 사용하는 가스 센서 및 이를 포함하는 가스 검출장치에 관한 것으로, MIM 구조를 사용하는 가스 센서는 제1메탈층; 상기 제1메탈층 하부에 배치되며, 광학적으로 투명 또는 반투명성을 가지는 인슐레이터층; 상기 인슐레이터층 하부에 구비되며, 광택을 가지는 제2메탈층을 포함하며, 상기 제1메탈층이 기체와 반응하여 두께가 변화되거나, 상기 인슐레이터층이 기체와 반응하여 굴절률이 변화되며, 기체에 의해 상기 제1메탈층의 두께가 변화되어 색깔이 표시되거나, 기체에 의해 상기 인슐레이터층의 굴절률이 변화되어 색깔이 표시되는 것을 특징으로 하는 것이며, MIM 구조를 사용하는 가스 센서를 포함하는 가스 검출장치는, 상기 가스 센서; 상기 가스 센서 상부에 구비되면, 기체를 통과시키는 기체 투과층; 상기 가스 센서가 부착되는 본체부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.